什么是無塵實驗室？是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 

        無塵實驗室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為“無塵實驗室”。那么，無塵實驗室該如何防止微粒子污染呢？  

一、不攜入 

       1.作業員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理；

       2.進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖 材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等；

       3.通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室；

       4.機器及材料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭，經風淋室吹淋后才進入無塵室。；

       5.無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。  

二、不發生 

       1.減少接觸剝離發塵的動作形態；

       2.采用磨耗發塵小的材質；

       3.采用發塵小的潤滑油； 

       4.機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。  

三、不儲備 

       若能徹底實施“不攜入”技術，無塵實驗室內的潔凈度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要，通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面，突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。